Patente

System and method for surface inspection of micro- and nanomechanical structures.

Año2005-07-14
Aplicación PrioritariaEP20050380157. WO2006ES00405.
InventoresJ. Tamayo, J. Mertens, M. Calleja
PropietariosCSIC
Licenciado a   Johann Mertens
  Javier Tamayo
  Montserrat Calleja
Solicitantes ExternosMecWins S.L.
Grupos de InvestigaciónBionanomecánica

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